��ˮ�C
>������ϴ�C
>��ո���C
>�x��˦�əC
>��W������ϴ�C
>�ͳ�����ϴ�C
>�β۳�����ϴ�C
>�p�۳�����ϴ�C
>���۳�����ϴ�C
>��ճ�����ϴ�C
>�ք�ʽ������ϴ�C
>���Ԅӳ�����ϴ�C
>��܇�ИI������ϴ�C
>ͨ�^ʽ���ܳ�����ϴ�C
>�߉��������Dʽ������ϴ�C
>ȫ�Ԅӳ�����ϴ�O��
>���w����.��늾��w������ϴ�Cϵ��
>�¼��g�l��
>��Ҋ���}����
>

189-2649-3933
һ��������VGT-1209FH������ϴ�C��ϴͿ���V��Ƭ�ă��ݼ��m���s�|��
ԓ�C�͌��龫�ܹ�WԪ������V��Ƭ���OӋ������ϴͿ���V��Ƭ�r��������ͻ�����ݣ�
1�����l������120KHZ��������ϴ��
���l�ջ�Ч�����غͣ��m��Ӳ�|Ϳ�ӞV��Ƭ����SiO?/TiO?����Ĥ����������l��40KHz���ęCе�_���L�U��
����Ч��������w����0.1-1��m�����p�ٱ��愝����
2�����ܺ�ؿ���ϵ�y��20-60����{����
������ϴҺ�ضȲ��ӌ��V��Ƭ�ᑪ���p�������z�ό��_�z����
�ߜأ�40-50�棩����������֬���Ⱦ�����ϴЧ�ʡ�
3�����ʽ���l���g��
�Ԅ��ГQ�l�ʣ���5KHz���ӣ�����ֹ�v��Ч����ɵ���ϴ������
�e�m�ϴ�ߴ�V��Ƭ����ֱ����50mm����ȫ���w��ϴ��
4�����ƻ��A���c��ϴ�@��
�V��Ƭ�ɃAб�̶�������߅�������۽�����Ϳ�ӄ��䡣
�����Ĥ�@��p����ײĦ�������o��Ĥ��
�m�õ���ϴ�s�|��ͣ�
1���w����Ⱦ�
����ۚ�����������⋡����������X�w��������0.5-5��m����
�h���ۉm������w����̼�w�S��м����
�o������w�������ٷۉm��PVD�Ĥ�w�R���
2���ЙC��Ⱦ�
ָ�y�cƤ֬����Ҫ�ɷ֞����������֬���ᣩ��
����Һ/���P�ͣ��V���͡��ϳ������
�z�����z����ϩ���z�����z����
3���o�C��Ⱦ�
�p�����ӣ������Ĥ�V��Ƭ�������Ȼ�����X����
��ˇ�����}����Ĥǰ����ϴ�������c�x��/��x������
����������VGT-1209FH������ϴ�C���ĽY���M���c���ܣ�
��ϴ�ۣ�
�OӋ���c��
1��316L���P䓲��|��
2��б��ײ��OӋ+й���y��
��Ϳ���V��Ƭ��ϴ�����棺��ֹ�w�����e�������ų��{����Ⱦ�б��p�������䡣
���ϵ�y��
�OӋ���c��
1��PID�أ�20-60���1�棩��
2�������sѭ�hˮ�ӿڡ�
��Ϳ���V��Ƭ��ϴ�����棺��ֹ�ض��E׃����Ϳ���V��Ƭ�ᑪ���Ѽy��
�^�Vѭ�h��
�OӋ���c��5��m�����^�V��+������ѭ�h��
��Ϳ���V��Ƭ��ϴ�����棺���rȥ�����x���w����Ⱦ���ֹ����������
����ϵ�y��
�OӋ���c��
1���|�������ƣ��ɴ惦10�M��������
2���^�d���o/ȱҺ��
��Ϳ���V��Ƭ��ϴ�����棺һ�I�{�ò�ͬ�V��Ƭ��ϴ������
����������VGT-1209FH������ϴ�Cᘌ���V��Ƭ��ϴ������Y��������
1�����������OӋ��
�ײ������Ӳ��֣�6�M����մɓQ�����ʷ�C�����У��_���ۃ���ƫ��<15%���ИI�˜�ͨ��>30%����
���È�������ߴ�V��Ƭ����8Ӣ�羧�A���V��Ƭ��ȫ���w��ϴ��
2������ײ���o�C�ƣ�
�Ҹ�ʽ�@�������W�@ͨ�^���ɑҒ죬�p�ٞV��Ƭ�c�۱���ײ�L�U��
�����m�䣺���ԞV��Ƭ��������VͿ�ӣ�����������ϴ��
3���s�|���xϵ�y��
�p����ˮ�Y�������w���������Ӹ��x�}���{���w��ͨ�^�ȱ��^�V��������
����֧�֣����t�ɜp��90%���ϵ���Ⱦ��ظ������Ȃ��y�ΌӲ��w����

����
Ӣ��